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等离子清洗机使用注意事项

发布时间:2022-01-04

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  1. 保持仪器整体清洁,不要处理潮湿样品。

  2. 仪器安装位置要合适:真空泵与仪器主机的安装高度差最好大于90厘米。

  3. 运行工艺最好是从短时间,低功率开始介入,摸索出适合自己实验的工艺,尽量避免一成不变的套用各种文献的工艺,各种文献所述工艺仅供参考。

  4. 避免通入易燃和有腐蚀性气体工作,例如氨气和纯氢气,可以采用氮氢混合气来代替。

  5. 手动运行仪器时,一定要保证舱体内真空度达到标准(60Pa)后方可通入外加气体,给入射频等操作。

  6. 尽量避免使用一些特殊气体,如四氟化碳,因为长时间使用,会导致碳元素大量附着在电极板,导致仪器效率下降,如果必须使用的话,建议采购石英舱体电感式仪器。

  7. 采用浮子流量计进气时,尽量做到进气和抽气达到一个动态平衡,通过手动调节流量计的进气旋钮来实现。

  8. 外接进气钢瓶的进气压力控制在0.1-0.3Mpa,直接进入空气的忽略此参数。

  9. 常规仪器清洁使用酒精擦拭或者紫外照射即可。

  10. 使用一段时间后,注意观察真空泵的真空油位和浑浊程度,如果发现真空由过少或者浑浊请及时添加或者更换真空油。

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