等离子清洗机广泛用于LED,LCD， LCM，手机配件，笔记本电脑按键及外壳，光学元器件，光学镜片，电子芯片，集成电路，五金，精密零件，塑胶制品，生物材料，医疗器皿，晶圆等的表面处理。在等离子清洗机的使用过程中往往存在着设备操作不当、超频超限使用等问题,.因此设备在使用一段时间之后便会出现一些故障。为了方便设备操作员在遇到故障的情况进行分析解决，下面便把常见故障进行整理分析。
1、真空泵热过载保护，请检查线路和真空泵故障
①出现此情况请首先观察真空等离子清洗机的系统参数设置有无变化，真空等离子清洗机突然断电会引起系统参数归零，导致设备出现此类报警。
②如系统参数无变化，请确认热继电器是否自动保护，按复位键，然后启动真空发生系统。如没有自动保护，请检查电气线路有无断路或短路情况。
③检查导线是否有断路或短路情况。
④如无上述异常，请检查真空等离子清洗机的真空泵。
2、三相供电相序异常，请更换相序真空等离子清洗机有相序保护继电器，如出现此类报警，请更换相序。
3、一路供气压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽
4、二路供气压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽3及4是气路控制系统报警，出现此报警请先检查气体是否打开或耗尽。如气体没有问题，请检查设备减压表、气路电磁阀及流量计是否正常工作。检查电气线路是否出现断路或短路。
5、放空气体压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽
如出现此类报警，请检查真空等离子清洗机腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无断路或短路。
6、真空室门未关好，请关好真空室门
①在真空腔门没有关上的情况下，启动设备会出现此类报警，请关好真空门。
②如真空腔门关好出现此报警，请检查传感器及线路。
以上就是等离子清洗机的常见故障及解决方法，希望能帮助大家更好地使用该设备。
