等离子清洗机通过利用等离子的活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。等离子体清洗技术的主要特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。为了保证等离子清洗机能正常运行，用户需要熟悉其正确的操作规程，下面我们来分享一下使用心得。
一、设置
1.连接真空泵电源到插座。
2.连接等离子清洗机电源到插座。
二、排除空气
3.将样品放入舱室内。
4.检查针阀和三通阀是关闭的。
5.按住清洗舱舱门。
6.打开真空泵开关。大概几分钟后，舱室处于负压状态，真空状态会让舱门自
动关闭。
7.打开气体钢瓶上的阀门，将压力调节在5~10PSI。
三、通入气体
8.打开通向工艺气体的三通阀
9.轻轻地打开针阀让气体通入30-60秒。
四、产生等离子体
10.打开清洗机前面板的电源开关。
11.将射频发生器功率开关调至合适的功率。
12.通过舱门的玻璃窗观察舱内，当产生辉光放电现象时，证明等离子体已激发。
13.调节针阀直到等离子体明显较大，这大概相当于Z佳等离子生成的条件
14.样品处理一定时间，处理结束后，将RF电源旋至OFF。
15.关闭清洗机开关。
16.关闭气体钢瓶阀门。
17.用1-3分钟的真空泵抽出残余的工艺气体从舱室。
18.关闭针形阀。
19.关闭真空泵。
20.按住等离子清洗机舱门门并慢慢将三通阀打开至排气状态
21.当舱室排气时，继续按住舱门。当达到常压后，离开舱门。
22.关闭三通阀。
23.取出样品
以上就是等离子清洗机的正确操作方法，正确的使用有着至关重要的作用，不仅仅能增加设备的使用寿命，还能为企业节省生产成本达到双赢目的。
