客户咨询热线:
13439697814
首页 > 技术文章 > 掌握要点合理使用等离子清洗机

掌握要点合理使用等离子清洗机

发布时间:2021-02-25

阅读:118

       等离子清洗机通过利用等离子的活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。等离子体清洗技术的主要特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。为了保证等离子清洗机能正常运行,用户需要熟悉其正确的操作规程,下面我们来分享一下使用心得。
  一、设置
  1.连接真空泵电源到插座。
  2.连接等离子清洗机电源到插座。
  二、排除空气
  3.将样品放入舱室内。
  4.检查针阀和三通阀是关闭的。
  5.按住清洗舱舱门。
  6.打开真空泵开关。大概几分钟后,舱室处于负压状态,真空状态会让舱门自
  动关闭。
  7.打开气体钢瓶上的阀门,将压力调节在5~10PSI。
  三、通入气体
  8.打开通向工艺气体的三通阀
  9.轻轻地打开针阀让气体通入30-60秒。
  四、产生等离子体
  10.打开清洗机前面板的电源开关。
  11.将射频发生器功率开关调至合适的功率。
  12.通过舱门的玻璃窗观察舱内,当产生辉光放电现象时,证明等离子体已激发。
  13.调节针阀直到等离子体明显较大,这大概相当于Z佳等离子生成的条件
  14.样品处理一定时间,处理结束后,将RF电源旋至OFF。
  15.关闭清洗机开关。
  16.关闭气体钢瓶阀门。
  17.用1-3分钟的真空泵抽出残余的工艺气体从舱室。
  18.关闭针形阀。
  19.关闭真空泵。
  20.按住等离子清洗机舱门门并慢慢将三通阀打开至排气状态
  21.当舱室排气时,继续按住舱门。当达到常压后,离开舱门。
  22.关闭三通阀。
  23.取出样品
  以上就是等离子清洗机的正确操作方法,正确的使用有着至关重要的作用,不仅仅能增加设备的使用寿命,还能为企业节省生产成本达到双赢目的。
©2021  北京奥利赛克生物科技有限公司 All Rights Reserved.  网站地图  京ICP备20012557号-1  管理登陆  技术支持:化工仪器网