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等离子清洗机

等离子清洗机

更新时间:2020-08-19

简要描述:

设备的通用技术参数
*供电电源: AC220V
*工作电流: 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
*射频电源功率: 200W
*射频频率: 13.56MHz或者40KHz
*频率偏移量: 小于0.2KHz
*特性阻抗: 50欧姆,自动匹配
*真空度: 小于等于100Pa
*过程控制:

简易操作

 

控制面板按键说明

Power: 220V电源开关

Set :设置按键

Pump:真空泵启动

P.V:真空抽气开关

RF:射频开关(起辉光)

Gas1/Gas2:外加气体开关

Air:进气开关(真空复位)

Enter:确认键

Reset: 复位按键

Stop:自动运行停止键

A/M:手动与自动模式转换键

Run:自动模式运行键

0-9的10个数字键是程序设置时的数字输入键

后面板说明

Pump  :真空管连接

Gas1和Gas2外加气体连接

Air:真空复位孔

初始安装时,找到合适的位置放好仪器主机和真空泵,高度差建议高于90mm 

首先 连接好等离子清洗机与真空泵之间的真空管路,做到连接处密封且不漏气,安装油雾过滤器(选配件)。

第二步 接通供电电源和真空泵电源,在此之前检查所有按钮必须处于复位状态,同时检查所供电源插座的L、N、E的接线是否与机箱后的AC220V输入插头相一致,以免发生危险动作。

第三步 首次开机抽真空时间应持续10分钟左右且不做其他操作,目的是去潮除湿,同时检查是否有漏气部位。

第四部 以上步骤完成后就可以进行仪器的调试实验。

仪器常规使用操作步骤:

4. 参数设置---自动运行前的程序仪器通电开机后显示上面的界面,此界面为自动运行界面及程序设置界面,液晶显示注解:

Vacuum:600Pa   样品仓真空度值    Power:90W表示设定的功率为90W(0150W无极可调)   

Gas1:1表示气路1开 (如果Gas1:0表示气路1关,即:字符“1”代表开,字符“0”代表关) Gas2:0表示气路2关,开关命令同样用字符“1”表示开,字符“0”表示关。

Time;02:00表示设置的实验时间是2分钟

特殊说明:在任何显示界面内,数字“1”表示开启,数字“0”表示关闭状态

参数设定步骤:在上面的界面按“Set键进入设置程序步骤;

  1.功率设定

 在待机界面下按下“Set键进入界面(如右图)功率设置界面,通过数字键输入实验需要的功率,按“Enter键确认保存,再按“Set键进入下一个界面的设定

2.气路模式设定

气路状态设置界面(如右图)再此界面下:

A.按数字键“0会显示 Gas1:0  Gas2:0表示两路气体全关。

B.按数字键“1会显示 Gas1:1  Gas2:0表示气路1开,气路2关  

C.按数字键“2会显示 Gas1:0  Gas2:1表示气路1关,气路2开

D.按数字键“3会显示 Gas1:1  Gas2:1表示两路气体全开

以上是气路的四种模式,根据实验选好模式后按“Enter键确认保存,再按“Set键进入下一个界面的设定

 

 

3.实验处理时间的设定

在此界面下(如右图)通过数字键输入实验需要的仪器起辉光的时间

右图的“02:00”表示2分钟,输入方式为:小时 分钟 秒,根据实验设定好时间后按“Enter键确认保存,再按“Set键进入下一个界面的设定

4.工程师命令,我们可以根据不同的用户进行的一些内部程序的密码设定,              用于仪器的锁定与开启状态。

以上任意界面都可在确认保存后,按Reset键,回到初始界面,所设置的参数不会丢失。在初始界面下,按Set键可以翻开检查每个界面设置的参数值。

手动操作实验步骤:(在手动界面下操作)

a. 将被处理物体放置到仓内,关好仓门,按下Pump钮,真空泵启动,紧接按下P.V按钮,开始抽真空。

b.真空度达到要求时(一般指60Pa),开启进气按钮Gas1或者Gas2根据实验自行调整,稳定60秒后,按下RF钮,加入射频高压,处理过程开始.关于进气可以根据实验要求开一路或者全开或者全关都可以。

c.到达处理时间后,依次关闭顺序为:1)Gas1或者Gas2  2)RF钮 3)Pump按钮4)Air 按钮,3秒左右恢复常压,5)关闭P.V按钮,无进气声响时复原Air。

d.打开仓门,取出被处理物,一个处理过程结束

自动运行实验步骤;

 

在左图的界面下,直接按“Run按钮,便可以根据之前设置并保存好的程序自动进行实验过程,在实验过程中如果想修改程序,按“Stop”键停止仪器正在进行的程序后,进行修改。

 

运行过程中仪器会根据实验的步骤,来实时显示仪器当下所处状态。

仪器使用时注意事项:

1.仪器的功率参数设定建议不要超过120瓦,样品处理时间不要过长(建议不要超过10分钟)也是出于舱内的发热考虑,当然如果您的样品对温度不是很敏感,对于我的仪器是没有问题的,如果感觉处理的效果不是很理想可以停机后,过5分钟(待仪器的热量散掉后)在进行一次处理。

2.实验中处理的样品不要与仪器的舱内高压板接触

3.对于本机而言一般材料的处理,所供气体量在150-550ml/min左右等离子密度较为适宜,平常要保持仪器的清洁,特别要注意舱门密封处。

4.如果要进行一些特殊比较难处理的材料,例如陶瓷或者金属,建议将样品垫高,距离仪器样品仓内部上面的电极板高度10毫米左右,这个高度效果比较好。

5.仪器不要放于特殊环境中使用,例如:高温   高湿等恶劣环境。

外加气体使用注意:

1.外加气体(氧气)由机箱的后边 GAS引入,接口直径为10毫米快插接头,连接管为外径为10毫米,内径为6.5毫米的硬塑料管即可

2.将氧气的出口压力调到0.1-0.3MPa,可长期接入,也可用完后关闭氧气瓶。

3.外加气时一定要注意:一定要在仪器的真空度值小于等于60帕,再进行后续的操作,避免发生危险,加入的气量尽量控制在150-550ml/min左右,不宜过量加入。


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